国内最大的非球面超精密车床
非球面光学零件确定性超精密加工技术和装备是现代先进制造技术的典型代表,单点金刚石数控车削(SPDT)机床是现代超精密数控光学加工的最典型、最重要的加工装备。SPDT可实现金属基反射镜、红外材料透镜等非球面、离轴非球面等光学元件的高效、确定性超精密加工。由于以SPDT为代表的现代超精密数控光学加工装备技术水平对国家的军事和国民经济领域尖端技术的发展具有重大作用,世界发达国家对我国采取了严格的装备禁运和技术封锁。特别是在大尺寸、超高精密、多坐标联动技术产品方面控制方面尤为严格。
近年来,中航工业精密所依托其在超精密加工技术领域的研究基础和传统,开展了“非球面光学零件确定性超精密加工技术和装备”项目研究,突破了大型光学数控加工机床设计、制造及运行环境控制等关键技术,在大承载力、高刚性的超精密立式液体静压主轴技术,大行程、高刚性、无摩擦效应超精密液体静压导轨驱动与控制技术,机床Z轴无摩擦干涉效应的全气浮气缸精密平衡与导轨技术,纳米分辨率开放式高性能数控系统集成技术,机床温度及振动环境精密控制技术以及高品质压力油源、气源供给技术等方面取得了一系列成果,最终研制成功“Nanosys-1000 LODTM数控光学加工机床”及其辅助支撑系统。该机床通过纳米分辨率的超精密加工运动轨迹控制,用金刚石刀具直接车削成形金属、红外等材料的大型光学零件。该机床可高效地加工传统光学加工技术和装备难以加工或根本无法加工的多种材料(如金属基、红外及KDP晶体等)和复杂曲面(深度非球面、离轴非球面等)现代光学系统元件。
该系统自研制成功以来,经过几年的连续运行、工艺研究及工程应用,整体性能表现良好,精度稳定可靠。2016年,由该机床制造的直径达Φ1000mm的大口径非球面抛物面铝基反射镜参加了第十三届中国国际机床工具展览会(CIMES2016),吸引了现场不少业界人士的关注,也标志着我国利用自主研发的超精密加工设备制造大口径非球面超精密光学零件成为现实。同时,该系统已先后为中国电子科技集团公司、北京邮电大学、中国计量科学研究院和中国科学院物理研究所等科研生产机构解决了不少超精密加工技术难题,包括太赫兹关键技术验证、卡塞格伦太赫兹天线系统及太赫兹通讯系统等,满足了我国国防科技工业尖端装备和民用光电市场的迫切需求,具有重要的军事价值、社会效益和经济效益。
“Nanosys-1000 LODTM 数控光学加工机床”的成功研制和良好运行,表明大口径非球面曲面超精密加工设备制造和工艺关键技术方面取得了一系列重要突破,打破了国外的技术封锁和装备禁运,使我国的非球面光学零件的超精密加工技术水平上跃了一个新的台阶,项目成果达到了同类技术国际先进水平。(中航工业精密所 罗松保 )